SRBZ1440A

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:接纳磁流体密封艺,网络化控制系统,具有先辈的防地碰撞庇护功用及静态纠偏功用,具有SEMI认证,MCBF大于1000万前次,同时具有超高干净家,耐高温、耐烦腐化,负载能力强对等特性。满意个性化设想撑持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制效劳。事大负载真空机械手的良好当选。

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简介

大负载真空机械手, LED芯片制造范畴的真空机械手产物,次要用于LED芯片制造历程中,实现装有大量LED晶周遭的托盘正在各个工艺腔室间的传送,具有真空家高峻,负载大,传输服从高峻,耐高温对等特性,大大进步了LED芯片消费制造的良知率安然静服从,事LED芯片制造配备的枢纽产物。传统的LED芯片制造接纳集成电路制造造程使用的真空机械手,此负载才能只要1kg。本意天良产物正在集成电路制造操纵真空机械手的基础上,针对此大负载需求,创新了此传输构造安然静掌握纪律,使此可以到达20.5kg的负载才能,同时连结很小的占用体积,连结高峻耐烦真空家及干净品级。

参数

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